仪器误差对测角精度的影响主要是由于仪器三轴之间关系的不正确造成的。光学经纬仪主要是通过对三轴之间关系的检验校正来减少仪器误差对测角精度的影响；而全站仪则主要是通过补偿改正实现的。最新的全站仪已实现了“三轴”补偿功能，武汉太阳路测绘技术有限公司代理的瑞得全站仪提醒我们在使用全站仪补偿器的补偿功能时应注意如下几点：
1、当测站点有振动、风大、低精度观测时，应关闭仪器的补偿功能。这样既可以节电又可以避免误补偿。全站仪的补偿范围一般为±3′左右，整平度超过此范围、天顶距接近天顶和底2°范围内，电子补偿器的改正功能不起作用。
2、在使用全站仪时，当照准部水平方向制动螺旋制动，垂直方向转动望远镜时，水平度盘的显示读数会不断变化，这正是全站仪自动补偿改正的结果。
3、全站仪补偿器的补偿功能提供了3种选择模式，即[双轴]、[单轴]、[关]。选择[关]即补偿功能不起作用；选择[单轴]只对垂直度盘读数进行补偿；选择[双轴]是对水平和垂直度盘读数均进行补偿。
4、单轴补偿只能对垂直度盘读数进行改正，没有改正水平度盘读数的功能。当照准部水平方向固定，上下转动望远镜时水平角度读数不会变化。
5、三轴补偿的全站仪是在双轴补偿器的基础上，用机内计算软件来改正因横轴误差和视准轴误差对水平度盘读数的影响。即使当照准部水平方向固定，只要上下转动望远镜水平度盘的显示读数仍会有较大的变化，而且与垂直角的大小、正负有关。
6、双轴补偿只能改正由于垂直轴倾斜误差对垂直度盘和水平度盘读数的影响。当照准部水平方向固定，上下转动望远镜时水平角度读数仍然会发生变化；当补偿器关闭后水平度盘读数也不会变化。